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三豐表面輪廓儀是Z軸采用高精度數字式線性傳感器，測量范圍大、精度高、穩定，那么在我們使用中出現故障該如何解解決呢？其實三豐表面輪廓儀的故障一般可以分為三個種類，
三豐表面輪廓儀發生的故障一般可分為幾大類：
1.三豐表面輪廓儀不工作
這類故障是由于一些簡單的毛病或元件損壞而造成的。如電線的斷路或短路；接插件的不接觸；元件內部的斷路或短路（如晶體管、電阻、電容、電位器、變奪器等的斷路或短路）；傳動件的損壞卡住等等。這些是比較明顯的，容易通過逐步逐級地查找發現它。
2.三豐表面輪廓儀不正確
這里有兩種情況：一是分散性，每次測得的數值不一樣；另一種是放大位數過大或過小超出可調范圍以及非線性超差。這種多是機械部件造成的誤差，例如傳感器滑行不正常，測力太大或太小，導頭壓力不合適，驅動速度不均勻，行程控制觸點接觸不良，電表軸尖磨損等等。
第二種可能是零點剩余電壓太大，反饋開路，放大器工作點變化，末級全波整流中某一個二極管損壞等，都可能引起靈敏度發生很大的變化。晶體管放大器工作點不正確，還會引起顯著的非線性誤差。
3.三豐表面輪廓儀不穩定
不穩定也分兩種情況：一種是線路內產生了自激振蕩使其不能正常工作；一種是指儀器的靈敏度和工作狀態常常變化，前一種情況往往是電路中防止自激振蕩和網路開路了；后一種情況則比較復雜，它是一種漸變因素造成的，如元件內部接觸不穩定、假焊、放大器工作點隨溫度變化而有較大的變化等等。需要耐心地慢慢尋找。在這種情況下。使用替代法，可以較快地找到故障范圍。